afm/afm的基本原理是将对弱力非常敏感的微悬臂一端固定，另一端有一个微小的尖端。微悬臂的尖端轻轻接触样品表面。因为在微悬臂的尖端和样品表面之间有一个非常微弱的排斥力，在扫描过程中，可以将力控制为恒定的，微悬臂梁将在垂直于样品表面的方向上波动，该方向与尖端和样品表面之间的力的等位面相对应。采用光学检测法或隧道电流检测法，测量每个扫描点对应的微悬臂梁的位置变化，从而获得样品表面形貌信息。
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